您好、欢迎来到现金彩票网!
当前位置:2019棋牌游戏网 > 维护服务程序 >

泛林集团自维护设备创生产率新纪录

发布时间:2019-07-03 11:19 来源:未知 编辑:admin

  宣布其自维护设备创下半导体行业工艺流程生产率的新标杆。通过与领先半导体制造商合作,

  在当今半导体工艺环境中,平均清洗间隔时间是限制刻蚀系统生产率提高的主要因素。为了保持稳定的性能,通常需要每月、甚至每周清洗刻蚀工艺腔室,并更换被等离子体工艺腐蚀的部件。2019 年 4 月,泛林集团与客户携手达成了一项宏伟目标,实现设备在无需维护清洗的情况下连续运行 365 天,创下里程碑式纪录。

  泛林集团刻蚀产品事业部高级副总裁兼总经理 Vahid Vahedi 表示:“这一突破性成就彰显了泛林集团专注客户合作,帮助客户解决最具挑战性的技术和生产率问题。泛林集团致力于提供符合工业 4.0的技术,使芯片制造企业的生产过程更快速、更准确、更高效。这一新的行业标杆印证了自维护设备可以减少人工劳动,提高生产效率。”

  通常,刻蚀工艺模块需要定期维护并更换耗件。更换和清洗部件必须打开腔室完成,在关闭腔室时需要重新验证腔室环境,既耗时又费力,不但影响了产量,还需依靠复杂的调度安排。利用自维护解决方案,设备可自主决策需要更换部件的时间,且无需打开腔室即可自动更换,减少了设备的停机时间,提高了工厂的生产效率。

  泛林集团这一创新解决方案包括Kiyo®工艺模块、采用真空传输可更换边缘环的Corvus® R系统、拥有使用寿命更长的腔室组件、以及经过优化的无晶圆自动清洗技术。其中,实现这一空前生产率的关键在于Corvus R系统,它是业界首个可自动更换耗件的系统。长期以来,刻蚀工艺一直存在边缘环腐蚀的问题,需要频繁打开腔室更换部件。Corvus R无需打开腔室,即可自动更换新的边缘环。

  这一技术是泛林集团Equipment Intelligence™ 解决方案的一部分。该解决方案集成了关键元件,并可创建自感知、自维护和自适应的设备与工艺。此外,Equipment Intelligence解决方案整合了机器学习、人工智能和自动化、自感知的硬件与工艺,有望提高生产效率,改善产品性能,加速行业创新。

http://yolandaeljaiek.com/weihufuwuchengxu/392.html
锟斤拷锟斤拷锟斤拷QQ微锟斤拷锟斤拷锟斤拷锟斤拷锟斤拷锟斤拷微锟斤拷
关于我们|联系我们|版权声明|网站地图|
Copyright © 2002-2019 现金彩票 版权所有